высоковакуумный

Часть речиприл.Значений1
  1. техн. связанный, соотносящийся по значению с существительным высокий вакуум; относящийся к созданию и использованию высокого вакуума (с давлением порядка 10⁻⁶ мм рт. ст.)«Вот недавно мои сотрудники разработали сканирующий высоковакуумный туннельный микроскоп — прекрасный прибор, высшего мирового уровня, очень нужный для развития микроэлектроники.»Л. А. Остерман, «Дневник», 1994 г.
От сочет. высокий вакуум, см. высокий и вакуум.

Источник: статья «высоковакуумный» в Викисловаре, лицензия CC BY-SA 4.0. Текст сокращён.