гетероэпитаксия

Часть речисущ.Значений1
  1. вид эпитаксии, когда растущий слой отличается по химическому составу от вещества подложки

Источник: статья «гетероэпитаксия» в Викисловаре, лицензия CC BY-SA 4.0. Текст сокращён.