микровакуумный

Часть речиприл.Значений1
  1. связанный с созданием вакуума в микроскопических объёмах«Микровакуумные автокатодные структуры могут быть использованы для создания логических элементов интегральных схем, усилительных элементов и СВЧ-генераторов, устройств отображения, сенсорных элементов.», 1995 г. // «Математическое моделирование»

Источник: статья «микровакуумный» в Викисловаре, лицензия CC BY-SA 4.0. Текст сокращён.