фотолитография

Часть речисущ.Значений2
  1. широко используемый в микроэлектронике и полиграфии метод получения рисунка на тонкой плёнке материала с помощью света определённой длины волны««Рисунок» из четырёх тысяч транзисторов и их подключения обеспечены методами фотолитографии.»Степан Васильев, «„Атомный бильярд“ для электроники» // «Зеркало мира», 2012 г.
  2. истор. литография с применением фотографии«Пуатевен покрыл литографский камень хромированной желатиной, проэкспонировал на этот слой изображение, проявил его и покрыл краской. Свой способ он назвал фотолитографией.»Е. Л. Немировский, «Иоганн Гутенберг», 1989 г. [Google Книги]

Источник: статья «фотолитография» в Викисловаре, лицензия CC BY-SA 4.0. Текст сокращён.